三丰轮廓仪

技术参数

• 测量范围：X 轴测量范围为 100mm 或 200mm，Z1 轴（检测器）测量范围为 ±25mm，Z2 轴（立柱）垂直移动为 300mm。

• 分辨率：X 轴分辨率为 0.05μm，Z1 轴（检测器）分辨率为 0.05μm。

• 检测方法：X 轴采用线性编码器检测，Z1 轴根据型号不同，可采用线性编码器或激光全息测微机检测，Z2 轴采用 ABSOLUTE 线性编码器检测。

• 测量速度：测量速度为 0.02-5mm/s，测量方向可向前或向后。

• 基座尺寸：基座尺寸为 600x450mm，基座材料为花岗岩，具有良好的稳定性和抗振性。